4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为参数分析仪，4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。

4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。

主要性能指标

I-V 源测量单元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
• 100 fA测量分辨率
• 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
• 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
• 四象限操作
• 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)

• AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
• 1 kHz - 10 MHz 频率范围
• ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
• 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
• 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
• 200 MSa/s，5 ns 采样率
• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
• 瞬态波形捕获模式
• 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元(PGU)

• 两个高速脉冲电压源通道
• ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
• 任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
• 在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
• 把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
• 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
• 把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
• 降低电缆电容效应

 标配附件

4200A-SCS

参数分析仪主机
1 条236-ILC-3 互锁电缆, 3 米(10 英尺)
2 条4200-TRX-2 超低噪声三轴电缆，2 米(6.6 英尺)。

4200-SMU

中等功率源测量单元, 适用于4200A-SCS, 100 mA ~ 100 fA, 200 V ~ 0.2mV, 2 W

如果配置一个前端放大器：

4200-PA 标配所有电缆。参见下面的4200-PA。

如果没有配置前端放大器：

2 条4200-MTRX-2 迷你超低噪声三轴电缆，2 米(6.6 英尺)。

4210-SMU

高功率源测量单元，用于4200A-SCS，1 A ~ 100 fA，200 V ~ 0.2 μV，20 W

如果配置一个前端放大器：

4200-PA 标配所有电缆。参见下面的4200-PA。

如果没有配置前端放大器：

2 条4200-MTRX-2 迷你超低噪声三轴电缆，2 米(6.6 英尺)。

4200-PA

远程前端放大器选项，用于4200-SMU 和4210-SMU，把SMU 扩展到0.1 fA 分辨率
1 条4200-RPC 远程前端放大器电缆，2 米(6.6 英尺)
2 条4200-TRX-2 超低噪声三轴电缆，2 米(6.6 英尺)

4210-CVU

电容- 电压(C-V) 模块4 根CA-447A SMA 电缆, 公头到母头, 100W, 1.5m (5 英尺) • 4 个CS-1247 母头SMA 到公头BNC 适配器
2 个CS-701 BNC T 型适配器• 1 个TL-24 SMA 扭矩扳手

4225-PMU

超快速脉冲测量单元4 根SMA 到SMA 50W 电缆, 2m (6.6 英尺)
2 个SMA 到SSMC Y 电缆组件, 6 英寸

4225-RPM

远程预放/ 开关模块1 根SMA 到SMA 50W 电缆, 20cm (7.9 英寸)
1 个三同轴到BNC 适配器
1 个BNC 到SMA 适配器
1 条RPM 电缆, 2.1m (6.9 英尺)

4220-PGU

高电压脉冲发生器(4) SMA 到SMA 50W 电缆, 2m (6.6 英尺)
(2) SMA 到SSMC Y- 电缆组件, 6 英寸

4200A-CVIV

I-V，C-V 多功能开关模块2 个4200A-CVIV-SPT SMU 直传模块
2 个214543500 插槽封堵模块
1 条174691500 USB 电缆
注：对通过4200A-CVIV 连接的每个SMU，都要求一个或4200A-CVIV-SPT 或一个4200-PA。