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S540功率半导体测试系统
作者:admin    来源:原创    发布日期:2020-4-10 9:40:28   点击次数:122

S540 是一种全自动晶圆级参数测试系统,可以在一次探头接触中执行高达3kV 的所有高压测试、低压测试、低电流测试和电容测试,提高生产效率,降低拥有成本。该系统把吉时利测量仪器与低压和高压开关矩阵、线缆、探头卡适配器、探头驱动器和KTE 测试软件安全无缝地集成在一起。最终结果,是可以量身定制12~48 针参数测试系统,而不需要重新配置测试设置,在从高压测试转向低压 测试时不用使用两个单独的测试系统,实现全自动2 端子或3 端子晶体管电容测量,提供pA 级测量性能。

 

主要特点:

  • 在一次探头接触中,在最多48针上自动执行所有晶圆级参数测试,包括高压击穿、电容和低压测量,而不需改变电缆或探头卡基础设施
  • 执行晶体管电容测量,如 Ciss、Coss 和 Crss,高达 3 kV,而不需手动重新配置测试针
  • 在高速多针、全自动测试环境中实现低电平测量性能
  • 基于 Linux 的 KTE ( 吉时利测试环境 ) 系统软件,简便地开发测试,快速执行测试
  • 特别适合工艺集成、工艺控制监测和生产芯片分拣等全自动 应用或半自动应用
  • 缩短测试时间及测试设置时间,减少占用空间, 降低拥有成本,同时实现实验室级测量性能

全面进行高达3 kV 的一遍参数测试

S540 是为用于拥有各种产品组合的环境而优化的,可以配置为12 针、24 针、36 针或48 针系统。有两种主要配置:基本高压配置有12 针,高电压/ 低电流配置则有12 针高电压和36 针低电流。这两种配置都支持多条SMU ( 源测量单元) 通道、两端子和三端子电容测量、差分电压测量以及脉冲和频率测量。所有测试引脚都连接到一张探头卡上,因此可以在一个探头接触中执行所有测试,提高生产效率,降低拥有成本。

 

高达3 kV 的全自动两端子和三端子电容测量

除在全自动生产应用中执行的典型2 端子电容测量外,S540 还可以执行半自动研发应用和工艺集成应用中常见的3 端子晶体管电容测量。可以在高达3 kV 的偏置电压及高达1 MHz 的频率上执行测试。S540 自动执行这些3 端子测量,如Ciss、 Coss 和Crss,而不需手动配置测试针。这可以更迅速地收集更多的器件数据,加快测试速度,最终加快产品开发周期。

由于普通电容仪表的内置偏置电压低于100 V,因此测量高压功率半导体的电容要求使用外部电压源和Bias-T。与其他高压参数测量解决方案不同,S540 使用系统级开路- 短路- 负载补偿技术,确保Bias-T 不会在测量中注入错误,并能够在全自动生产环境中实现实验室质量的电容测量。

S540 可以执行全自动实验室质量的三端子电容测量

 

强大的系统软件

吉时利S540 系统拥有吉时利测试环境(KTE) v5.7 软件,用于测试开发和执行。KTE v5.7 的系统级速度较KTE v5.5 最多提高了40%。KTE 装在采用Linux 操作系统的标准工控PC 上,把吉时利数十年的参数测试经验融入到功能中。

KTE 软件可以简便地编写、转换或重用测量例程和测试计划,帮助您更快地启动和运行系统。

 

S540 软件包括所有关键系统软件操作:

 

  • 晶圆描述
  • 测试宏程序开发
  • 测试计划开发
  • 极限
  • 晶圆级或组件级测试,支持自动探头控制
  • 测试数据管理
  • 用户接入点
  • 系统诊断

3 kV 探头卡和探头卡适配器(PCA) 解决方案

在多针全自动生产测试应用中进行可靠的高压测量带来了许多挑战,包括环境、器件布线和探头设计。吉时利为探测最高 3k V 电压、同时保持低电平测量性能提供了两种优质解决方案: 吉时利9140 和Celadon 45E。此外,为简化探头卡安装和拆卸, 我们作为出厂安装选项提供了inTEST 顶部装载探头卡接口。




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